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基于X射线衍射的GaN薄膜厚度的精确测量

李洪涛 罗 毅 席光义 汪 莱 江 洋 赵 维 韩彦军 郝智彪 孙长征

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基于X射线衍射的GaN薄膜厚度的精确测量

李洪涛, 罗 毅, 席光义, 汪 莱, 江 洋, 赵 维, 韩彦军, 郝智彪, 孙长征

Thickness measurement of GaN films by X-ray diffraction

Li Hong-Tao, Luo Yi, Xi Guang-Yi, Wang Lai, Jiang Yang, Zhao Wei, Han Yan-Jun, Hao Zhi-Biao, Sun Chang-Zheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-20
  • 修回日期:  2008-05-27
  • 刊出日期:  2008-11-20

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