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a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况

王志超 宋杰

引用本文:
Citation:

a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况

王志超, 宋杰

THE CONDITIONS OF CONDENSATION AND GROWTH OF a-Si FILMS ON VARIOUS SUBSTRATE MATERIAL SURFACE

WANG ZHI-CHAO, SONG JIE
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  • 本文报道了应用SEM观察a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况,并对有关现象作了相应的解释。
    In this paper, we report the observed conditions of condensation and growth of a-Si on different kinds of substrate materials surfaces studied with the SEM technology. Explanations about the phenomena are given.
    • 基金项目: 中国科学院科学基金
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-11-01
  • 刊出日期:  2005-03-20

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