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离子注入形成SOI结构的界面及埋层的俄歇能谱研究

俞跃辉 林成鲁 张顺开 方子韦 邹世昌

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离子注入形成SOI结构的界面及埋层的俄歇能谱研究

俞跃辉, 林成鲁, 张顺开, 方子韦, 邹世昌

AUGER ELECTRON SPECTROSCOPIC STUDIES OF INTERFA CE AND BURIED LAYER OF SOI STRUCTURE FORMED BY ION IMPLANTATION

YU YUE-HUI, LIN CHENG-LU, ZHANG SHUN-KAI, FANG ZI-ZEI, ZOU SHI-CHANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-02-10
  • 刊出日期:  1989-06-05

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