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氩气掺入对类金刚石沉积过程的影响

高克林 詹如娟 黄卫东 邹祖平 王燕霞 项志遴

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氩气掺入对类金刚石沉积过程的影响

高克林, 詹如娟, 黄卫东, 邹祖平, 王燕霞, 项志遴

INFLUENCE OF ARGON ADDITION ON THE GROWTH OF DIAMOND-LIKE FILM

GAO KE-LIN, ZHAN RU-JUAN, HUANG WEI-DONG, ZOU ZU-PING, WANG YAN-XIA, XIANG ZHI-LIN
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-03-25
  • 刊出日期:  2005-07-03

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