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由电阻率的准静态测量研究薄膜晶粒的生长动力学

王晓平 赵特秀 季航 董翊 卞波

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由电阻率的准静态测量研究薄膜晶粒的生长动力学

王晓平, 赵特秀, 季航, 董翊, 卞波

STUDY ON GRAIN GROWTH KINETICS OF THIN FILMS BY MEANS OF QUASI-STATE MEASUREMENT OF RESISTIVITY

WANG XIAO-PING, ZHAO TE-XUE, JI HANG, DONG YI, BIAN BO
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-12-29
  • 刊出日期:  1993-05-05

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