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多孔硅层晶格畸变的X射线双晶衍射研究

何贤昶 吴自勤 赵特秀 吕智慧 王晓平 孙国喜

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多孔硅层晶格畸变的X射线双晶衍射研究

何贤昶, 吴自勤, 赵特秀, 吕智慧, 王晓平, 孙国喜

INVESTIGATION OF LATTICE DEFORMATION OF POROUS SILICON FILMS BY X-RAY DOUBLE CRYSTAL DIFFRACTION

HE XIAN-CHANG, WU ZI-QIN, ZHAO TE-XIU, Lü ZHI-HUI, WANG XIAO-PING, SUN GUO-XI
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-07-22
  • 刊出日期:  1993-03-05

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