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负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚 王友年 邓新禄 马腾才

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负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚, 王友年, 邓新禄, 马腾才

HYDRODYNAMICS SIMULATION OF RF DISCHARGE COURSES WITH NEGATIVE BIAS

ZHU WU-BIAO, WANG YOU-NAIN, DENG XIN-LU, MA TENG-CAI
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  • 采用流体力学方法研究了负偏压射频放电的物理过程,计算了带电粒子密度及电场的时空分布,分析了在不同的近似条件下,离子动量平衡方程中各项的贡献。
    In this paper , we have analysed the physical procedures of RF discharges with negative bias , using the hydrodynamics method, and have calculated the spatiotemporal distributions of charged par-ticals and the electric field. The contributions of each terms in momentum-balance equation of ions are also discussed under different approximations.
    • 基金项目: 国家自然科学基金资助的课题
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-05-29
  • 刊出日期:  1996-07-20

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