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氮化硅薄膜的微结构

陈俊芳 王卫乡 刘颂豪 任兆杏

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氮化硅薄膜的微结构

陈俊芳, 王卫乡, 刘颂豪, 任兆杏

MICROSTRUCTURE OF SILICON NITRIDE THIN FILM

CHEN JUN-FANG, WANG WEI-XIANG, LIU SONG-HAO, REN ZHAO-XING
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-12-08
  • 刊出日期:  1998-09-20

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