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高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究

郭晓旭 朱美芳 刘金龙 韩一琴 许怀哲 董宝中 生文君 韩和相

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高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究

郭晓旭, 朱美芳, 刘金龙, 韩一琴, 许怀哲, 董宝中, 生文君, 韩和相

MICROSTRUCTURES OF THE MICRO-CRYSTALLINE SILICON THIN FILMS PREPARED BY HOT WIRE CHEMICAL DEPOSITION WITH HYDROGEN DILUTION

GUO XIAO-XU, ZHU MEI-FANG, LIU JIN-LONG, HAN YI-QIN, XU HUAI-ZHE, DONG BAO-ZHONG, SHEN WEN-JUN, HAN HE-XIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-01-19
  • 修回日期:  1998-03-27
  • 刊出日期:  1998-09-20

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