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电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响

郭栋 蔡锴 李龙土 桂治轮

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电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响

郭栋, 蔡锴, 李龙土, 桂治轮

ELECTRODEPOSITION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILMS FROM ORGANIC SOLVENTS AND EFFECTS OF ANNEALING ON THE FILM STRUCTURE

GUO DONG, CAI KAI, LI LONG-TU, GUI ZHI-LUN
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-02-21
  • 修回日期:  2001-07-06
  • 刊出日期:  2001-06-05

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