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氮化铝单晶薄膜的ECRPEMOCVD低温生长研究

秦福文 顾 彪 徐 茵 杨大智

引用本文:
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氮化铝单晶薄膜的ECRPEMOCVD低温生长研究

秦福文, 顾 彪, 徐 茵, 杨大智

Study on lowtemperature growth of AlN single crystal film by ECRPEMOCVD

Qin Fu-Wen, Gu Biao, Xu Yin, Yang Da-Zhi
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-06-13
  • 修回日期:  2002-09-09
  • 刊出日期:  2003-05-20

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