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铝诱导非晶硅薄膜的场致低温快速晶化及其结构表征

陈一匡 林揆训 罗 志 梁锐生 周甫方

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铝诱导非晶硅薄膜的场致低温快速晶化及其结构表征

陈一匡, 林揆训, 罗 志, 梁锐生, 周甫方

Aluminum-induced rapid crystallization of a-Si films at low temperatures in an electric field and microstructure analyses of the crystallized films

Chen Yi-Kuang, Lin Kui-Xun, Luo Zhi, Liang Rui-Sheng, Zhou Fu-Fang
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-19
  • 修回日期:  2003-05-04
  • 刊出日期:  2004-01-05

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