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射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移

李伙全 宁兆元 程珊华 江美福

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射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移

李伙全, 宁兆元, 程珊华, 江美福

Photoluminescence centers and shift of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering

Li Huo-Quan, Ning Zhao-Yuan, Cheng Shan-Hua, Jiang Mei-Fu
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-15
  • 修回日期:  2003-06-02
  • 刊出日期:  2004-03-15

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