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硼离子注入多晶铁薄膜的非晶化作用的研究

张岳鲁 华耜耘 梅良模 栾开政 刘宜华

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硼离子注入多晶铁薄膜的非晶化作用的研究

张岳鲁, 华耜耘, 梅良模, 栾开政, 刘宜华

STUDIES ON THE AMORPHOUS STATE FORMATION EFFECT OF BORON ION IMPLANTATION INTO POLYCRYSTALLINE IRON THIN FILMS

ZHANG YUE-LU, BI SI-YUN, MEI LIANG-MO, LUAN KAI-ZHENG, LIU YI-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-09-25
  • 刊出日期:  1988-04-05

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