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用RHEED强度振荡锁相外延控制Ge/Si超晶格的生长

陈可明 金高龙 盛篪 周国良 蒋维栋 张翔九 俞鸣人

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用RHEED强度振荡锁相外延控制Ge/Si超晶格的生长

陈可明, 金高龙, 盛篪, 周国良, 蒋维栋, 张翔九, 俞鸣人

PHASE-LOCKED EPITAXY OF Ge/Si SUPERLATTICES BY USING RHEED INTENSITY OSCILLATIONS

CHEN KE-MING, JIN GAO-LONG, SHENG CHI, ZHOU GUO-LIANG, JIANG WEI-DONG, ZHANG XIANG-JIU, YU MING-REN
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-05-08
  • 刊出日期:  2005-06-22

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