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磷化铟中离子注入硅的双性行为研究

沈鸿烈 杨根庆 周祖尧 邹世昌

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磷化铟中离子注入硅的双性行为研究

沈鸿烈, 杨根庆, 周祖尧, 邹世昌

INVESTIGATION OF AMPHOTERIC BEHAVIOR OF SILICON IMPLANTED INTO InP

SHEN HONG-LIE, YANG GEN-QING, ZHOU ZU-YAO, ZOU SHI-CHANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-05-08
  • 刊出日期:  2005-07-01

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