Fe离子注入多晶Al2O3的光电子能谱研究

李世普; 樊东辉; 王国梅; 邢宁; 任卫

doi:10.7498/aps.40.857

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本文应用光电子能谱(XPS)方法分析Fe离子注入多晶Al2O3样品中各离子的存在状态。通过微机对谱峰进行高斯拟合处理,得出注入离子Fe不同价态的相对含量。
Abstract
In this paper, all ionic states in the polycrystalline Al2O3 implanted with Fe ions are studied by X-ray photoelectron spectroscopy. The Gaussian decomposition of spectra is done by computer, and the relative content of various valence of implanted Fe ion is obtained.
作者及机构信息
李世普,

樊东辉,

王国梅,

邢宁,

任卫

1.
武汉工业大学材料工程系,武汉,430070

基金项目: 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助的课题
Authors and contacts
LI SHI-PU,

FAN DONG-HUI,

WANG GUO-MEI,

XING NING,

REN WEI

1.
武汉工业大学材料工程系,武汉,430070
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X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY STUDY OF Fe ION IMPLANTED POLYCRYSTALLINE Al2O3

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