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p型硅MOS结构Si/SiO2界面及其附近的深能级与界面态

陈开茅 武兰青 彭清智 刘鸿飞

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p型硅MOS结构Si/SiO2界面及其附近的深能级与界面态

陈开茅, 武兰青, 彭清智, 刘鸿飞

DEEP LEVEL IN BOTH Si/SiO2 INTERFACE AND ITS NEIGH-BOURHOOD AND Si/SiO2 INTERFACE STATES IN p TYPE SILICON MOS STRUCTURE

CHEN KAI-MAO, WU LAN-QING, PENG QING-ZHI, LIU HONG-FEI
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-12-11
  • 刊出日期:  2005-07-03

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