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Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程

汪卫华 白海洋 张云 陈红 王文魁

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Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程

汪卫华, 白海洋, 张云, 陈红, 王文魁

THERMODYNAMIC AND KINETIC ASPECTS OF SOLID STATE AMORPHIZATION REACTION IN Ni/a-Si MULTILAYER SYSTEM

WANG WEI-HUA, BAI HAI-YANG, ZHANG YUN, CHEN HONG, WANG WEN-KUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-12-23
  • 刊出日期:  2005-07-10

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