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用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

孙以材 张林在

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用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

孙以材, 张林在

MEASUREMENT OF SHEET RESISTANCE FOR MICROA- REAS BY USING A MODIFIED VAN DER PAUW'S METHOD

SUN YI-CAI, ZHANG LIN-ZAI
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-04-09
  • 刊出日期:  1994-02-05

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