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硅直接键合界面附近的深能级研究

卢励吾 周洁 封松林 钱照明 彭青

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硅直接键合界面附近的深能级研究

卢励吾, 周洁, 封松林, 钱照明, 彭青

THE DEEP LEVEL STUDIES OF n-Si/n+-Si INTERFACE IN SILICON DIRECT BONDING

LU LI-WU, ZHOU JIE, FENG SONG-LIN, QIAN ZHAO-MING, PENG QING
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-04-15
  • 刊出日期:  1994-05-20

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