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纳米硅薄膜的生长动力学与计算机模拟

林鸿溢 武旭辉 何宇亮 褚一鸣

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纳米硅薄膜的生长动力学与计算机模拟

林鸿溢, 武旭辉, 何宇亮, 褚一鸣

GROWTH DYNAMICS OF NANO-CRYSTALLINE SILICON (nc-Si:H)FILMS AND ITS COMPUTER SIMULATION

LIN HONG-YI, WU XU-HUI, HE YU-LIANG, CHU YI-MING
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-12-19
  • 刊出日期:  1996-02-05

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