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Si衬底上异质外延金刚石的初始阶段原子H的作用及其界面结构

康 健 肖长永 熊艳云 冯克安 林彰达

引用本文:
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Si衬底上异质外延金刚石的初始阶段原子H的作用及其界面结构

康 健, 肖长永, 熊艳云, 冯克安, 林彰达

THE EFFECT OF ATOMIC OF HYDROGEN IN THE INITIAL PROCEDURE OF DIAMOND HETEROEPITAXY ON Si AND THE INTERFACE BETWEEN DIAMOND AND Si

KANG JIAN, XIAO CHANG-YONG, XIONG YAN-YUN, FENG KE-AN, LIN ZHANG-DA
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-11-25
  • 刊出日期:  1999-11-20

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