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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

池凌飞 林揆训 姚若河 林璇英 余楚迎 余云鹏

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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

池凌飞, 林揆训, 姚若河, 林璇英, 余楚迎, 余云鹏

DIAGNOSTIC OF RF PLASMA BY USING LANGMUIR PROBE AND ITS NUMERICAL PROCESSING

CHI LING-FEI, LIN KUI-XUN, YAO RUO-HE, LIN XUAN-YING, YU CHU-YING, YU YUN-PENG
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-15
  • 修回日期:  2000-12-09
  • 刊出日期:  2001-07-20

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