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离子注入合成β-FeSi2薄膜的显微结构

李晓娜 聂冬 董闯 马腾才 金星 张泽

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离子注入合成β-FeSi2薄膜的显微结构

李晓娜, 聂冬, 董闯, 马腾才, 金星, 张泽

Li Xiao-Na, Nie Dong, Dong Chuang, Ma Teng-Cai, Jin Xing, Zhang Zhe
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-03-10
  • 修回日期:  2001-07-10
  • 刊出日期:  2005-04-11

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