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蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的研究

王剑屏 郝跃 彭军 朱作云 张永华

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蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的研究

王剑屏, 郝跃, 彭军, 朱作云, 张永华

Wang Jian-Ping, Hao Yue, Peng Jun, Zhu Zuo-Yun, Zhang Yong-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-11-12
  • 修回日期:  2002-01-17
  • 刊出日期:  2002-04-05

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