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Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

方志军 夏义本 王林军 张伟丽 马哲国 张明龙

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Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

方志军, 夏义本, 王林军, 张伟丽, 马哲国, 张明龙

Study of the stress observed in diamond films on carbon-implanted alumina surfaces

Fang Zhi-Jun, Xia Yi-Ben, Wang Lin-Jun, Zhang Wei-Li, Ma Zhe-Guo, Zhang Ming-Long
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-06-21
  • 修回日期:  2002-08-09
  • 刊出日期:  2003-02-05

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