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稳定、优质nc-Si/a-Si:H薄膜的研制和特性分析

徐艳月 孔光临 张世斌 胡志华 曾湘波 刁宏伟 廖显伯

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稳定、优质nc-Si/a-Si:H薄膜的研制和特性分析

徐艳月, 孔光临, 张世斌, 胡志华, 曾湘波, 刁宏伟, 廖显伯

Preparation and characterization of the stable nc-Si/a-Si:H films

Xu Yan-Yue, Kong Guang-Lin, Zhang Shi-Bin, Hu Zhi-Hua, Zeng Xiang-Bo, Diao Hong-Wei, Liao Xian-Bo
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-07-17
  • 修回日期:  2002-09-28
  • 刊出日期:  2003-03-05

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