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甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si∶H薄膜中氧污染的初步研究

杨恢东 吴春亚 赵 颖 薛俊明 耿新华 熊绍珍

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甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si∶H薄膜中氧污染的初步研究

杨恢东, 吴春亚, 赵 颖, 薛俊明, 耿新华, 熊绍珍

Investigation on the oxygen contamination in the μc-Si∶H thin film deposited b y VHF-PECVD

Yang Hui-Dong, Wu Chun-Ya, Zhao Ying, Xue Jun-Ming, Geng Xin-Hua, Xiong Shao-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-11-29
  • 修回日期:  2003-03-18
  • 刊出日期:  2003-11-20

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