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SiNx薄膜热物性参数实验测量与分析研究

余 雷 余建祖 王永坤

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SiNx薄膜热物性参数实验测量与分析研究

余 雷, 余建祖, 王永坤

Measurement and analysis of thermal properties of SiNx thin films

Yu Lei, Yu Jian-Zu, Wang Yong-Kun
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-12-24
  • 修回日期:  2003-04-14
  • 刊出日期:  2004-01-05

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