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脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富 韩建民 张谷令 王久丽 陈光良 李雪明 冯文然 范松华 刘赤子 杨思泽

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脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富, 韩建民, 张谷令, 王久丽, 陈光良, 李雪明, 冯文然, 范松华, 刘赤子, 杨思泽

Study on the microstructure and properties of (Ti, Al)N film deposited by pulsed high energy density plasma

Liu Yuan-Fu, Han Jian-Min, Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Chen Guang-Liang, Li Xue-Ming, Feng Wen-Ran, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-12
  • 修回日期:  2004-05-27
  • 刊出日期:  2005-03-17

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