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退火对电子束热蒸发193nm Al2O3/MgF2反射膜性能的影响

尚淑珍 邵建达 沈 健 易 葵 范正修

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退火对电子束热蒸发193nm Al2O3/MgF2反射膜性能的影响

尚淑珍, 邵建达, 沈 健, 易 葵, 范正修

Effects of annealing on electron-beam evaporated 193nm Al2O3/MgF2 HR mirrors

Shang Shu-Zhen, Shao Jian-Da, Shen Jian, Yi Kui, Fan Zheng-Xiu
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-07
  • 修回日期:  2005-10-14
  • 刊出日期:  2006-05-20

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