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HW-MWECR-CVD法制备氢化微晶硅薄膜及其微结构研究

刘国汉 丁 毅 朱秀红 陈光华 贺德衍

引用本文:
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HW-MWECR-CVD法制备氢化微晶硅薄膜及其微结构研究

刘国汉, 丁 毅, 朱秀红, 陈光华, 贺德衍

Preparation and characterization of hydrogenated microcrystalline silicon films by HW-MWECR-CVD

Liu Guo-Han, Ding Yi, Zhu Xiu-Hong, Chen Guang-Hua, He De-Yan
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-02
  • 修回日期:  2006-04-02
  • 刊出日期:  2006-11-20

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