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乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

马国佳 刘喜亮 张华芳 武洪臣 彭丽平 蒋艳莉

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乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

马国佳, 刘喜亮, 张华芳, 武洪臣, 彭丽平, 蒋艳莉

Influences of acetylene gas flow rate on mechanical properties and chemical structure of nanocomposite TiC diamond-like carbon films

Ma Guo-Jia, Liu Xi-Liang, Zhang Hua-Fang, Wu Hong-Chen, Peng Li-Ping, Jiang Yan-Li
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-01-12
  • 修回日期:  2006-09-25
  • 刊出日期:  2007-02-05

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