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GaP薄膜的射频磁控溅射沉积及其计算机模拟

李阳平 刘正堂 赵海龙 刘文婷 闫 锋

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GaP薄膜的射频磁控溅射沉积及其计算机模拟

李阳平, 刘正堂, 赵海龙, 刘文婷, 闫 锋

RF magnetron sputtering of GaP thin film and computer simulation of its depositing process

Li Yang-Ping, Liu Zheng-Tang, Zhao Hai-Long, Liu Wen-Ting, Yan Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-09
  • 修回日期:  2006-10-18
  • 刊出日期:  2007-05-20

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