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掺杂CVD金刚石薄膜的应力分析

李荣斌

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掺杂CVD金刚石薄膜的应力分析

李荣斌

Study of the stress in doped CVD diamond films

Li Rong-Bin
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-22
  • 修回日期:  2007-01-19
  • 刊出日期:  2007-03-05

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