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基于纳米压痕法的多孔硅硬度及杨氏模量与微观结构关系研究

杨海波 胡 明 张 伟 张绪瑞 李德军 王明霞

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基于纳米压痕法的多孔硅硬度及杨氏模量与微观结构关系研究

杨海波, 胡 明, 张 伟, 张绪瑞, 李德军, 王明霞

Nanoindentation investigation of the hardness and Young’s modulus of porous silicon depending on microstructure

Yang Hai-Bo, Hu Ming, Zhang Wei, Zhang Xu-Rui, Li De-Jun, Wang Ming-Xia
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-01
  • 修回日期:  2006-12-06
  • 刊出日期:  2007-07-20

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