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SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响

郑中山 张恩霞 刘忠立 张正选 李 宁 李国花

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SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响

郑中山, 张恩霞, 刘忠立, 张正选, 李 宁, 李国花

Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density

Zheng Zhong-Shan, Zhang En-Xia, Liu Zhong-Li, Zhang Zheng-Xuan, Li Ning, Li Guo-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-11
  • 修回日期:  2007-01-07
  • 刊出日期:  2007-09-20

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