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微波化学气相沉积中气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响

李晓红 郭晚土 陈学康 吴 敢 杨建平 王 瑞 曹生珠 余 荣

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微波化学气相沉积中气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响

李晓红, 郭晚土, 陈学康, 吴 敢, 杨建平, 王 瑞, 曹生珠, 余 荣

The effect of pressure on growth rate and quality of diamond films prepared by microwave plasma chemical vapor deposition

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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-14
  • 修回日期:  2007-05-14
  • 刊出日期:  2007-06-05

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