搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究

陈 飞 张晓丹 赵 颖 魏长春 孙 建

引用本文:
Citation:

硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究

陈 飞, 张晓丹, 赵 颖, 魏长春, 孙 建

Study of one-dimensional spatial distribution of the plasma luminous radicals during depositing silicon films

Chen Fei, Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Wei Chang-Chun, Sun Jian
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  6611
  • PDF下载量:  584
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-29
  • 修回日期:  2007-10-06
  • 刊出日期:  2008-05-28

/

返回文章
返回