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AlN/Si3N4纳米多层膜的外延生长与力学性能

喻利花 董松涛 董师润 许俊华

引用本文:
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AlN/Si3N4纳米多层膜的外延生长与力学性能

喻利花, 董松涛, 董师润, 许俊华

Epitaxial growth and mechanical properties of AlN/Si3N4 nanostructured multilayers

Yu Li-Hua, Dong Song-Tao, Dong Shi-Run, Xu Jun-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-07
  • 修回日期:  2008-04-17
  • 刊出日期:  2008-04-05

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