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13.56 MHz 低频功率对60 MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响

袁强华 辛 煜 黄晓江 孙 恺 宁兆元

引用本文:
Citation:

13.56 MHz 低频功率对60 MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响

袁强华, 辛 煜, 黄晓江, 孙 恺, 宁兆元

Effect of 13.56MHz low-frequency power on electrical characteristic of 60MHz radio-frequency capacitively coupled plasma

Yuan Qiang-Hua, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Sun Kai, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-27
  • 修回日期:  2008-04-11
  • 刊出日期:  2008-11-20

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