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氢稀释对高速生长纳米晶硅薄膜晶化特性的影响

邱胜桦 陈城钊 刘翠青 吴燕丹 李平 林璇英 黄翀 余楚迎

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氢稀释对高速生长纳米晶硅薄膜晶化特性的影响

邱胜桦, 陈城钊, 刘翠青, 吴燕丹, 李平, 林璇英, 黄翀, 余楚迎

Effect of hydrogen dilution on crystalline properties of nano-crystalline silicon thin films in fast growth

Qiu Sheng-Hua, Chen Cheng-Zhao, Liu Cui-Qing, Wu Yuan-Dan, Li Ping, Lin Xuan-Ying, Huang Chong, Yu Chu-Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-04-10
  • 修回日期:  2008-07-03
  • 刊出日期:  2009-01-20

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