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原子光刻中驻波场与基片距离的判定方法研究

王建波 钱进 殷聪 石春英 雷鸣

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原子光刻中驻波场与基片距离的判定方法研究

王建波, 钱进, 殷聪, 石春英, 雷鸣

Method of identifying the relative position between standing wave of laser light and substrate in atom lithography

Wang Jian-Bo, Qian Jin, Yin Cong, Shi Chun-Ying, Lei Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-01-10
  • 修回日期:  2012-03-22

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