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前驱体和退火温度对Nd2O3薄膜组分影响的定量研究

张旭杰 刘红侠 范小娇 樊继斌

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前驱体和退火温度对Nd2O3薄膜组分影响的定量研究

张旭杰, 刘红侠, 范小娇, 樊继斌

Quantitative analysis on the influences of the precursor and annealing temperature on Nd2O3 film composition

Zhang Xu-Jie, Liu Hong-Xia, Fan Xiao-Jiao, Fan Ji-Bin
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-08-18
  • 修回日期:  2012-09-08
  • 刊出日期:  2013-02-05

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