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具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究

李资政 杨海贵 王笑夷 高劲松

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具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究

李资政, 杨海贵, 王笑夷, 高劲松

Investigations of high-quality aluminum film with large-area uniformity for large-size echelle grating

Li Zi-Zheng, Yang Hai-Gui, Wang Xiao-Yi, Gao Jin-Song
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-01-21
  • 修回日期:  2014-04-14
  • 刊出日期:  2014-08-05

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