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掺杂剂对重掺n型直拉硅片的氧化诱生层错生长的影响

张越 赵剑 董鹏 田达晰 梁兴勃 马向阳 杨德仁

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掺杂剂对重掺n型直拉硅片的氧化诱生层错生长的影响

张越, 赵剑, 董鹏, 田达晰, 梁兴勃, 马向阳, 杨德仁

Effects of dopants on the growth of oxidation-induced stacking faults in heavily doped n-type Czochralaki silicon

Zhang Yue, Zhao Jian, Dong Peng, Tian Da-Xi, Liang Xing-Bo, Ma Xiang-Yang, Yang De-Ren
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-22
  • 修回日期:  2014-11-30
  • 刊出日期:  2015-05-05

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