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MICROSTRUCTURE OF SILICON NITRIDE THIN FILM

CHEN JUN-FANG WANG WEI-XIANG LIU SONG-HAO REN ZHAO-XING

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MICROSTRUCTURE OF SILICON NITRIDE THIN FILM

CHEN JUN-FANG, WANG WEI-XIANG, LIU SONG-HAO, REN ZHAO-XING
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Publishing process
  • Received Date:  08 December 1997
  • Published Online:  20 September 1998

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