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基于微芯片的透射电子显微镜的低温纳米精度电子束刻蚀与原位电学输运性质测量

张超 方粮 隋兵才 徐强 王慧

引用本文:
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基于微芯片的透射电子显微镜的低温纳米精度电子束刻蚀与原位电学输运性质测量

张超, 方粮, 隋兵才, 徐强, 王慧

Nano-scale lithography and in-situ electrical measurements based on the micro-chips in a transmission electron microscope

Zhang Chao, Fang Liang, Sui Bing-Cai, Xu Qiang, Wang Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-05-28
  • 修回日期:  2014-08-07
  • 刊出日期:  2014-12-05

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