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一种简易的监控Si-SiO_2界面质量的水银探针

物理学报, 1977, 26(3): 281-284.
DOI: 10.7498/aps.26.281
CSTR: 32037.14.aps.26.281

A SIMPLIFIED MERCURY PROBE FOR CONTROLLING THE QUALITY OF Si-SiO_2 INTERFACES

Acta Phys. Sin., 1977, 26(3): 281-284.
DOI: 10.7498/aps.26.281
CSTR: 32037.14.aps.26.281
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